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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)


[交流] 铁电薄膜材料刻蚀后,测SEM时的样品切割问题

我本人实验用的基片尺寸为1*1(cm^2),光刻的图形尺寸在一个样品上有(1000、500、300、100um的正方形小图形),刻蚀完后我得测SEM,看一下横截面台阶角度,但是有个很关键的问题是得把样品适量切开。当然,我如果切得图形正好是1000的,相对而言,用肉眼也能看到(用的金刚石的锥子切开,如图从此正方形中间切开),但不能保证切得非常平整。故寻求大家是否有好的建议,能确保样品的横截面相对来说平整些,在此先感谢给位回复!
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justinmiao

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问你找到方法了吗,我也在寻找切割仪器

发自小木虫IOS客户端
18楼2019-04-26 14:23:02
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查看全部 18 个回答

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镊子压着片子边沿,直接沿晶向裂开。
楼主的描述看得我好累。
12楼2015-10-27 19:31:09
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主,我是天线专业的,有一些铁电体材料的疑问,可以留个联系方式吗,
13楼2015-11-03 15:59:00
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)


引用回帖:
13楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2015-11-03 15:59:00
楼主,我是天线专业的,有一些铁电体材料的疑问,可以留个联系方式吗,

什么天线专业,看的有点蒙

发自小木虫Android客户端
14楼2015-11-04 11:01:34
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简单回复
2015-10-25 12:23   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
stingdhk4楼
2015-10-25 12:26   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
mhycpxir10楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
pctajy11楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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