24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1610  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀? 已有2人参与

已经流片回来的芯片,光电器件,钝化层和介质层较厚,影响性能,想要刻蚀掉钝化层和介质层,请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by wmchpu at 2015-10-27 21:18:36
钝化层是oxide和SiN,介质层是TEOS,需要刻蚀掉4-5um左右深,主要是器件ACTIVE区上方的都要刻蚀掉,每个ACTIVE区大概30-50um。...

好厚,怎么会这么厚!!
11楼2015-11-04 15:40:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧
2楼2015-10-25 07:49:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层,是只刻蚀掉一部分器件上方的,这样的话CMP没法做吧?
3楼2015-10-26 09:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
4楼2015-10-26 12:48:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856材料化工调剂 总分330 +14 zhubinhao 2026-03-27 14/700 2026-03-29 10:01 by Sjndkwm
[考研] 0856求调剂 +13 zhn03 2026-03-25 14/700 2026-03-29 08:13 by fmesaito
[考研] 312,生物学求调剂 +3 小译同学abc 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:32 by 落睿可思
[考研] 322求调剂 +5 旧吢 2026-03-24 5/250 2026-03-28 13:26 by Iveryant
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +8 邱gl 2026-03-27 8/400 2026-03-28 12:42 by 唐沐儿
[考研] 085600 286分 材料求调剂 +7 麻辣鱿鱼 2026-03-27 8/400 2026-03-28 12:17 by zllcz
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +7 hanamiko 2026-03-27 7/350 2026-03-28 09:56 by 李上岸0921
[考研] 315分求调剂 +7 26考研上岸版26 2026-03-26 7/350 2026-03-28 04:05 by fmesaito
[考研] 305求调剂 +5 哇卢卡库 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:01 by laoshidan
[考研] 315调剂 +4 0860求调剂 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:23 by wangjy2002
[考研] 336材料求调剂 +7 陈滢莹 2026-03-26 9/450 2026-03-27 00:20 by wxiongid
[考研] 生物学 296 求调剂 +4 朵朵- 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:01 by 不吃魚的貓
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 6/300 2026-03-26 18:03 by 邱gl
[考研] 机械学硕310分,数一英一,一志愿211本科双非找调剂信息 +3 @357 2026-03-25 3/150 2026-03-26 16:34 by by.MENG
[考研] 081700 调剂 267分 +11 迷人的哈哈 2026-03-23 11/550 2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 化学调剂一志愿上海交通大学336分-本科上海211 +4 小鱼爱有机 2026-03-25 4/200 2026-03-26 10:19 by aa331100
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 材料调剂 +3 iwinso 2026-03-23 3/150 2026-03-25 11:29 by greychen00
[考研] 318求调剂 +3 plum李子 2026-03-23 3/150 2026-03-25 09:42 by 雾散后相遇lc
信息提示
请填处理意见