| 查看: 1606 | 回复: 9 | ||
lm31415木虫 (小有名气)
|
[求助]
硅片表面磁控溅射纳米金属膜，硅片表面的处理办法 已有5人参与
|
| 各位，最近小弟要做磁控溅射，在硅片表面磁控溅射纳米金属膜。 淘宝上买回来的成品是直径4英寸的硅片，电镜SEM科研实验专用的这种硅片。我们最后需要的是5*5mm大小的小硅片，买之前让卖家激光切割好寄来，请问怎样对这种小硅片表面清洗，要镀纳米金属膜的话，怎么一次做多点，毕竟5*5mm的做太繁琐 |
回复此楼» 猜你喜欢
蹲MS做界面润湿，表面自由能，相互作用强度等，散金蹲交流
已经有16人回复
-
上海海事大学 材料与化工方向 招收 第二批调剂生，4月12日开放
已经有23人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有200人回复
-
2025博士申请
已经有6人回复
-
氧化铝在pma中分散
已经有1人回复
-
各位虫友，国合能查了吗？
已经有3人回复
-
光干涉图像自动读数matlab
已经有0人回复
-
屡败屡战，四战面上侥幸中标，散金祈福，加油共勉
已经有44人回复
-
非周期结构电荷饱和问题
已经有0人回复
-
分享一本适合FLUENT入门的书
已经有1人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2015-10-12 21:10:09
liwentao_316
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2373
- 散金: 150
- 红花: 2
- 帖子: 56
- 在线: 73小时
- 虫号: 2681022
- 注册: 2013-09-25
- 性别: GG
- 专业: 金属材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:37:46
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:37:46
|
只能先切割成小块，然后溅射，用丙酮洗一次超声波清洗3分，再用酒精超声波清洗3分钟，再用丙酮超声波清洗3分钟，然后放到溅射托盘里开始溅射 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-10-12 23:14:30
4楼2015-10-12 23:26:59
小河不拉货
金虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 6526.1
- 散金: 110
- 红花: 2
- 帖子: 451
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 2620687
- 注册: 2013-08-28
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:38:59
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:38:59
|
表述有点乱。清洗硅片一般就是超声清洗，先后是丙酮和酒精超声。也有先后用丙酮酒精和去离子水。如果想去除硅片表面氧化层，最后还可以加一步低浓度HF溶液超声清洗，，浓度要低。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2015-10-13 08:25:56
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2015-10-15 21:08:27
lm31415
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4330.9
- 帖子: 127
- 在线: 117.6小时
- 虫号: 1517274
- 注册: 2011-11-30
- 性别: GG
- 专业: 大气化学
7楼2015-10-15 21:27:46
wanghuaxing
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2015-10-19 21:51:37
13613627346 
新虫 (小有名气)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 143.4
- 帖子: 70
- 在线: 6.6小时
- 虫号: 4201870
- 注册: 2015-11-06
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
9楼2015-11-06 20:52:54
10楼2015-11-17 22:14:51