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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 硅片表面磁控溅射纳米金属膜，硅片表面的处理办法
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lm31415

木虫 (小有名气)

[求助] 硅片表面磁控溅射纳米金属膜，硅片表面的处理办法 已有5人参与

各位，最近小弟要做磁控溅射，在硅片表面磁控溅射纳米金属膜。 淘宝上买回来的成品是直径4英寸的硅片，电镜SEM科研实验专用的这种硅片。我们最后需要的是5*5mm大小的小硅片，买之前让卖家激光切割好寄来，请问怎样对这种小硅片表面清洗，要镀纳米金属膜的话，怎么一次做多点，毕竟5*5mm的做太繁琐
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1楼 2015-10-12 15:28:42
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liwentao_316

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:37:46
只能先切割成小块，然后溅射，用丙酮洗一次超声波清洗3分，再用酒精超声波清洗3分钟，再用丙酮超声波清洗3分钟，然后放到溅射托盘里开始溅射

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3楼2015-10-12 23:14:30
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是整片镀好金膜，再切割，这边操作比较简单点
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2楼2015-10-12 21:10:09
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yujiewu
哈

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4楼2015-10-12 23:26:59
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小河不拉货

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:38:59
表述有点乱。清洗硅片一般就是超声清洗，先后是丙酮和酒精超声。也有先后用丙酮酒精和去离子水。如果想去除硅片表面氧化层，最后还可以加一步低浓度HF溶液超声清洗，，浓度要低。

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5楼2015-10-13 08:25:56
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