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lm31415木虫 (小有名气)
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硅片表面磁控溅射纳米金属膜，硅片表面的处理办法 已有5人参与
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| 各位，最近小弟要做磁控溅射，在硅片表面磁控溅射纳米金属膜。 淘宝上买回来的成品是直径4英寸的硅片，电镜SEM科研实验专用的这种硅片。我们最后需要的是5*5mm大小的小硅片，买之前让卖家激光切割好寄来，请问怎样对这种小硅片表面清洗，要镀纳米金属膜的话，怎么一次做多点，毕竟5*5mm的做太繁琐 |
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【答案】应助回帖
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lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:38:59
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lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:38:59
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表述有点乱。清洗硅片一般就是超声清洗，先后是丙酮和酒精超声。也有先后用丙酮酒精和去离子水。如果想去除硅片表面氧化层，最后还可以加一步低浓度HF溶液超声清洗，，浓度要低。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2015-10-13 08:25:56
2楼2015-10-12 21:10:09
liwentao_316
木虫 (小有名气)
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【答案】应助回帖
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lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:37:46
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lm31415: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-10-13 11:37:46
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只能先切割成小块，然后溅射，用丙酮洗一次超声波清洗3分，再用酒精超声波清洗3分钟，再用丙酮超声波清洗3分钟，然后放到溅射托盘里开始溅射 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-10-12 23:14:30
4楼2015-10-12 23:26:59