应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 订做激光脉冲沉积系统，请问在设计时需要特别注意的细节？
51/1返回列表
查看: 950  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

faybin

银虫 (小有名气)

[求助] 订做激光脉冲沉积系统，请问在设计时需要特别注意的细节？ 已有1人参与

我们实验室最近想要订做一套激光脉冲沉积系统（已经有激光器，主要是订做腔体）。

请问在设计时有什么需要特别注意的环节吗？


谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-10-04 23:41:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-04 23:45:33
主要是加热系统的温度范围，供气系统，另外，是否可以进行辉光电离，有些沉积过程需要电离气氛，还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。

谢谢！
辉光电离的信息能再具体些吗？ 是指等离子体羽吗？

玻璃窗透光情况有什么要求呢？
赞一下 回复此楼
3楼2015-10-07 08:57:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
faybin: 金币+3 2015-10-07 08:57:39
主要是加热系统的温度范围，供气系统，另外，是否可以进行辉光电离，有些沉积过程需要电离气氛，还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。
赞一下 回复此楼
好好学习,天天向上!
2楼2015-10-04 23:45:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by faybin at 2015-10-07 08:57:28
谢谢！
辉光电离的信息能再具体些吗？ 是指等离子体羽吗？

玻璃窗透光情况有什么要求呢？...

因为你的激光一般是单一波长的，为了减少能量损失，尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的，我们在沉积含氮的化合物时，为了保证组分一致通常通有氮气，所以部分研究者也用金属纯靶通过将氮气电离使其在衬底上形成含氮的化合物。所以这就是要加辉光电离的原因。
赞一下 回复此楼
好好学习,天天向上!
4楼2015-10-07 10:14:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-07 10:14:26
因为你的激光一般是单一波长的，为了减少能量损失，尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的，我们在沉积含氮的化合物时，为了保证组分一致通常通有氮气，所以部分研究者也用金属纯靶通 ...

好的，谢谢您！
回复此楼
5楼2015-10-07 20:04:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭