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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 订做激光脉冲沉积系统，请问在设计时需要特别注意的细节？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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faybin

银虫 (小有名气)

[求助] 订做激光脉冲沉积系统，请问在设计时需要特别注意的细节？ 已有1人参与

我们实验室最近想要订做一套激光脉冲沉积系统（已经有激光器，主要是订做腔体）。

请问在设计时有什么需要特别注意的环节吗？


谢谢！
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1楼 2015-10-04 23:41:20
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
faybin: 金币+3 2015-10-07 08:57:39
主要是加热系统的温度范围，供气系统，另外，是否可以进行辉光电离，有些沉积过程需要电离气氛，还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。
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好好学习,天天向上!
2楼2015-10-04 23:45:33
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faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-04 23:45:33
主要是加热系统的温度范围，供气系统，另外，是否可以进行辉光电离，有些沉积过程需要电离气氛，还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。

谢谢！
辉光电离的信息能再具体些吗？ 是指等离子体羽吗？

玻璃窗透光情况有什么要求呢？
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3楼2015-10-07 08:57:28
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by faybin at 2015-10-07 08:57:28
谢谢！
辉光电离的信息能再具体些吗？ 是指等离子体羽吗？

玻璃窗透光情况有什么要求呢？...

因为你的激光一般是单一波长的，为了减少能量损失，尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的，我们在沉积含氮的化合物时，为了保证组分一致通常通有氮气，所以部分研究者也用金属纯靶通过将氮气电离使其在衬底上形成含氮的化合物。所以这就是要加辉光电离的原因。
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好好学习,天天向上!
4楼2015-10-07 10:14:26
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faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-07 10:14:26
因为你的激光一般是单一波长的，为了减少能量损失，尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的，我们在沉积含氮的化合物时，为了保证组分一致通常通有氮气，所以部分研究者也用金属纯靶通 ...

好的，谢谢您！
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5楼2015-10-07 20:04:47
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SHZheart

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-07 10:14:26
因为你的激光一般是单一波长的，为了减少能量损失，尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的，我们在沉积含氮的化合物时，为了保证组分一致通常通有氮气，所以部分研究者也用金属纯靶通 ...

您好，我也是用PLD沉积薄膜的，激光打在靶材金属套上可以起辉，但是打在氧化镓陶瓷靶上不起辉，怎么回事，劳烦您，谢谢
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6楼2016-01-02 20:56:09
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)
你用的激光器是什么？波长，脉冲能量？另外金属起辉要比氧化物容易

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好好学习,天天向上!
7楼2016-01-03 08:27:13
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