24小时热门版块排行榜    

查看: 1091  |  回复: 6

faybin

银虫 (小有名气)

[求助] 订做激光脉冲沉积系统,请问在设计时需要特别注意的细节? 已有1人参与

我们实验室最近想要订做一套激光脉冲沉积系统(已经有激光器,主要是订做腔体)。

请问在设计时有什么需要特别注意的环节吗?


谢谢!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
faybin: 金币+3 2015-10-07 08:57:39
主要是加热系统的温度范围,供气系统,另外,是否可以进行辉光电离,有些沉积过程需要电离气氛,还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。
好好学习,天天向上!
2楼2015-10-04 23:45:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-04 23:45:33
主要是加热系统的温度范围,供气系统,另外,是否可以进行辉光电离,有些沉积过程需要电离气氛,还有就是光聚焦的玻璃窗的透光情况。

谢谢!
辉光电离的信息能再具体些吗? 是指等离子体羽吗?

玻璃窗透光情况有什么要求呢?
3楼2015-10-07 08:57:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
3楼: Originally posted by faybin at 2015-10-07 08:57:28
谢谢!
辉光电离的信息能再具体些吗? 是指等离子体羽吗?

玻璃窗透光情况有什么要求呢?...

因为你的激光一般是单一波长的,为了减少能量损失,尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的,我们在沉积含氮的化合物时,为了保证组分一致通常通有氮气,所以部分研究者也用金属纯靶通过将氮气电离使其在衬底上形成含氮的化合物。所以这就是要加辉光电离的原因。
好好学习,天天向上!
4楼2015-10-07 10:14:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-07 10:14:26
因为你的激光一般是单一波长的,为了减少能量损失,尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的,我们在沉积含氮的化合物时,为了保证组分一致通常通有氮气,所以部分研究者也用金属纯靶通 ...

好的,谢谢您!
5楼2015-10-07 20:04:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SHZheart

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-07 10:14:26
因为你的激光一般是单一波长的,为了减少能量损失,尽可能在透光的窗口镀上增透膜。辉光电离不是等离子体羽辉。是这样的,我们在沉积含氮的化合物时,为了保证组分一致通常通有氮气,所以部分研究者也用金属纯靶通 ...

您好,我也是用PLD沉积薄膜的,激光打在靶材金属套上可以起辉,但是打在氧化镓陶瓷靶上不起辉,怎么回事,劳烦您,谢谢
6楼2016-01-02 20:56:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

你用的激光器是什么?波长,脉冲能量?另外金属起辉要比氧化物容易

发自小木虫Android客户端
好好学习,天天向上!
7楼2016-01-03 08:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 faybin 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天放榜吗? +7 布布和一二 2026-08-19 7/350 2026-08-19 09:17 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 什么时候开奖? +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 朋友圈看到的 +5 wangzilk 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:05 by luw152
[基金申请] 不应该看fileCode +8 且听虎啸 2026-08-12 10/500 2026-08-19 08:03 by luw152
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +52 医学老男孩 2026-08-13 113/5650 2026-08-19 07:58 by 医学老男孩
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 27/1350 2026-08-18 21:44 by Noways
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 9/450 2026-08-18 20:09 by 奶牛小黑
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +8 基诺咪客 2026-08-17 11/550 2026-08-18 17:13 by 悠然熊猫
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
信息提示
请填处理意见