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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 磁控溅射靶材选择
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shshi

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材选择 已有1人参与

各位虫友，我想做关于SPR光纤传感方面的研究，请问大家：磁控溅射的靶材材料该如何选择，哪些参数需要特别注意。谢谢
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1楼 2015-09-17 21:07:22
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shshi

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hyss1992 at 2015-09-18 15:03:00
尺寸…

直径60mm，厚度0.1mm
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8楼2015-09-21 22:22:31
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szz-bj

铜虫 (小有名气)
靶材最重要的就是纯度了，其次就是致密度，建议你从北京买
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2楼2015-09-18 10:30:23
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hyss1992

金虫 (小有名气)
尺寸…

发自小木虫Android客户端
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Stayhungry,stayfoolish.
3楼2015-09-18 15:03:00
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tsctw

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
shshi: 金币+2, ★有帮助 2015-09-21 22:21:04
我这边有一些材料可供你参考，具体的请密我

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
不给失败找理由！
4楼2015-09-20 22:24:05
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