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请问这个怎么做
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weid
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请问这个怎么做
我想问下,图中的电极怎么做啊?
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2015-08-29 01:15:31
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yswyx
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Originally posted by
weid
at 2015-08-29 12:45:42
这个难不难啊?为什么要大电极,小电极,不太懂这方面的。
...
大电极应该是用来做欧姆接触的,就是深颜色金属的那个。小电极应该是金或者Pt之类的,就是用来引出信号的。
只需要一次电子束光刻,其他的都可以用接触式光刻或者stepper来完成。
其实有stepper的话,就都可以做了,不用电子束光刻。目测gate的宽度也就是0.5um的水平。
想做的话,估计要花不少钱和时间,反复流片。
可以站内咨询我
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16楼
2015-09-02 12:36:07
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haomin.wan
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weid(金币+1): 谢谢参与
这个尺度需要电子束曝光机,写3次,第一次写对准标记,第二次写大电极,第三次写接触电极
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2015-08-29 05:18:41
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haomin.wan
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对了,顶栅需要在写一次
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5楼
2015-08-29 05:20:00
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weid
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4楼
:
Originally posted by
haomin.wan
at 2015-08-29 05:18:41
这个尺度需要电子束曝光机,写3次,第一次写对准标记,第二次写大电极,第三次写接触电极
这个难不难啊?为什么要大电极,小电极,不太懂这方面的。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼
2015-08-29 12:45:42
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Song浅简莫
6楼
2015-08-29 05:42
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weid(金币+1): 谢谢参与
。
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