应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 请问这个怎么做
汕头大学海洋科学接受调剂
161/1返回列表
查看: 839  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

weid

银虫 (正式写手)

[交流] 请问这个怎么做

我想问下，图中的电极怎么做啊？

请问这个怎么做
xx.PNG
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-08-29 01:15:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
weid(金币+1): 谢谢参与
这个尺度需要电子束曝光机，写3次，第一次写对准标记，第二次写大电极，第三次写接触电极

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2015-08-29 05:18:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haomin.wan

新虫 (正式写手)
对了，顶栅需要在写一次

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2015-08-29 05:20:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weid

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by haomin.wan at 2015-08-29 05:18:41
这个尺度需要电子束曝光机，写3次，第一次写对准标记，第二次写大电极，第三次写接触电极

这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
14楼2015-08-29 12:45:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by weid at 2015-08-29 12:45:42
这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。
...

呵呵，比较麻烦！需要三种专用设备  电子束曝光机，电子束蒸发机，ALD做起来比较麻烦！要花钱！

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
15楼2015-08-29 13:32:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by weid at 2015-08-29 12:45:42
这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。
...

大电极应该是用来做欧姆接触的，就是深颜色金属的那个。小电极应该是金或者Pt之类的，就是用来引出信号的。
只需要一次电子束光刻，其他的都可以用接触式光刻或者stepper来完成。
其实有stepper的话，就都可以做了，不用电子束光刻。目测gate的宽度也就是0.5um的水平。
想做的话，估计要花不少钱和时间，反复流片。
可以站内咨询我
赞一下 回复此楼
16楼2015-09-02 12:36:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dmbb2楼
2015-08-29 01:28   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
springburn3楼
2015-08-29 04:47   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
Song浅简莫6楼
2015-08-29 05:42   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
。 [ 发自小木虫客户端 ]
tzynew7楼
2015-08-29 06:27   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
9437994698楼
2015-08-29 07:11   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
阿Q~~9楼
2015-08-29 07:30   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
sunshine_qun10楼
2015-08-29 07:39   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
祝福
yinhangka11楼
2015-08-29 07:45   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
hangyezi12楼
2015-08-29 08:30   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
shenrenren13楼
2015-08-29 08:31   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 weid 的主题更新
161/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 山东省基金2026 +7 jerry681 2026-04-08 10/500 2026-04-15 09:00 by jerry681
[考研] 材料类284调剂 +42 想换手机不想解� 2026-04-08 50/2500 2026-04-15 06:09 by 逍遥三郎
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +26 慕绝cc 2026-04-09 30/1500 2026-04-14 18:50 by 蔡苏阳
[考研] 327求调剂 +23 Xxjc1107. 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 18:48 by 逍遥三郎
[考研] 食品与营养（0955）271求调剂 +15 升格阿达 2026-04-12 16/800 2026-04-14 13:18 by 浮若_安生
[考研] 305求调剂 +8 玛卡巴卡boom 2026-04-11 8/400 2026-04-14 09:04 by pengliang8036
[考研] 085404 298分求调剂 +11 呼啦呼啦呼呼呼 2026-04-10 12/600 2026-04-14 08:38 by wfj257
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +4 双一流本科机械 2026-04-08 4/200 2026-04-14 07:32 by Abskk
[考研] 310求调剂 +15 666真好 2026-04-11 17/850 2026-04-13 22:27 by pies112
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +12 emokidd 2026-04-08 13/650 2026-04-13 08:32 by lhj2009
[考研] 344 材料专业 求调剂211 无地域要求 +8 hualkop 2026-04-11 8/400 2026-04-12 22:24 by fqwang
[硕博家园] 新一代电子信息294求调剂 不挑学校 +7 Ytyt11 2026-04-09 8/400 2026-04-12 16:57 by ajpv风雷
[考研] 一志愿西北工业大学289 085602 +33 yang婷 2026-04-10 34/1700 2026-04-12 08:11 by Art1977
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 材料工程日语考生求调剂 +7 0856?调剂 2026-04-10 7/350 2026-04-11 21:33 by 蓝云思雨
[考研] 346，工科求调剂 +3 moser233 2026-04-09 3/150 2026-04-11 10:04 by zhq0425
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH（等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 吉大计算机技术331分，英语六级，求调剂 +3 峰峰021116 2026-04-09 3/150 2026-04-10 20:01 by chemisry
[论文投稿] mdpi小修rvr时间四五天了 20+3 哈哈high 2026-04-08 5/250 2026-04-10 16:02 by 北京莱茵润色
[考研] 334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 09:28 by wdyheheeh
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭