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weid

银虫 (正式写手)

[交流] 请问这个怎么做

我想问下，图中的电极怎么做啊？

请问这个怎么做
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1楼 2015-08-29 01:15:31
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haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
weid(金币+1): 谢谢参与
这个尺度需要电子束曝光机，写3次，第一次写对准标记，第二次写大电极，第三次写接触电极

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4楼2015-08-29 05:18:41
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haomin.wan

新虫 (正式写手)
对了，顶栅需要在写一次

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5楼2015-08-29 05:20:00
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weid

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by haomin.wan at 2015-08-29 05:18:41
这个尺度需要电子束曝光机，写3次，第一次写对准标记，第二次写大电极，第三次写接触电极

这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼2015-08-29 12:45:42
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haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by weid at 2015-08-29 12:45:42
这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。
...

呵呵，比较麻烦！需要三种专用设备  电子束曝光机，电子束蒸发机，ALD做起来比较麻烦！要花钱！

[ 发自小木虫客户端 ]
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15楼2015-08-29 13:32:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by weid at 2015-08-29 12:45:42
这个难不难啊？为什么要大电极，小电极，不太懂这方面的。
...

大电极应该是用来做欧姆接触的，就是深颜色金属的那个。小电极应该是金或者Pt之类的，就是用来引出信号的。
只需要一次电子束光刻，其他的都可以用接触式光刻或者stepper来完成。
其实有stepper的话，就都可以做了，不用电子束光刻。目测gate的宽度也就是0.5um的水平。
想做的话，估计要花不少钱和时间，反复流片。
可以站内咨询我
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16楼2015-09-02 12:36:07
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dmbb2楼
2015-08-29 01:28   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
springburn3楼
2015-08-29 04:47   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
Song浅简莫6楼
2015-08-29 05:42   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
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tzynew7楼
2015-08-29 06:27   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
9437994698楼
2015-08-29 07:11   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
阿Q~~9楼
2015-08-29 07:30   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
sunshine_qun10楼
2015-08-29 07:39   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
祝福
yinhangka11楼
2015-08-29 07:45   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
hangyezi12楼
2015-08-29 08:30   回复  
weid(金币+1): 谢谢参与
shenrenren13楼
2015-08-29 08:31   回复  
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