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tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？ 已有1人参与

直流反应磁控溅射 ， 缺氧氧化钛靶材，功率200w（电压480v），溅射压强 1Pa，O2：20sccm  Ar2：40SCCM 基底FTO，溅射2小时，

镀上钨电极直接看没什么问题，挺光滑的，但是显微镜下看就粗糙了，请各位大神看下怎么破。
点焊上去，上电极就和下电极穿通了，测得的电阻特别小。

(一个是100倍，另一个是200倍)

磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？
100xda.jpg


磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？-1
200xda.jpg
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薄膜制备与特性

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1楼 2015-07-27 09:36:28
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

做一个薄膜横截面的试样，对薄膜沉积颗粒的形状和尺寸进行一下观察和分析。因为对于薄膜的质量问题，除了溅射参数的影响以外，靶材的纯度、晶粒的晶粒度尺寸大小与均匀性也可能对此有着很大的影响。
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3楼2015-08-04 10:00:42
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
功率太大了（偏压大），你设置这样的功率依据相关文献？
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2楼2015-08-03 18:03:05
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