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tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办? 已有1人参与

直流反应磁控溅射 , 缺氧氧化钛靶材,功率200w(电压480v),溅射压强 1Pa,O2:20sccm  Ar2:40SCCM 基底FTO,溅射2小时,

镀上钨电极直接看没什么问题,挺光滑的,但是显微镜下看就粗糙了,请各位大神看下怎么破。
点焊上去,上电极就和下电极穿通了,测得的电阻特别小。

(一个是100倍,另一个是200倍)

磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办?
100xda.jpg


磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办?-1
200xda.jpg
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

功率太大了(偏压大),你设置这样的功率依据相关文献?
2楼2015-08-03 18:03:05
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

做一个薄膜横截面的试样,对薄膜沉积颗粒的形状和尺寸进行一下观察和分析。因为对于薄膜的质量问题,除了溅射参数的影响以外,靶材的纯度、晶粒的晶粒度尺寸大小与均匀性也可能对此有着很大的影响。
3楼2015-08-04 10:00:42
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