| 查看: 1022 | 回复: 2 | ||
[求助]
磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？ 已有1人参与
|
|
直流反应磁控溅射 ， 缺氧氧化钛靶材，功率200w（电压480v），溅射压强 1Pa，O2：20sccm Ar2：40SCCM 基底FTO，溅射2小时， 镀上钨电极直接看没什么问题，挺光滑的，但是显微镜下看就粗糙了，请各位大神看下怎么破。 点焊上去，上电极就和下电极穿通了，测得的电阻特别小。 (一个是100倍，另一个是200倍)  100xda.jpg  200xda.jpg |
回复此楼
2楼2015-08-03 18:03:05
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146670
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
3楼2015-08-04 10:00:42
