| 查看: 944 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？ 已有1人参与
|
|||
|
直流反应磁控溅射 ， 缺氧氧化钛靶材，功率200w（电压480v），溅射压强 1Pa，O2：20sccm Ar2：40SCCM 基底FTO，溅射2小时， 镀上钨电极直接看没什么问题，挺光滑的，但是显微镜下看就粗糙了，请各位大神看下怎么破。 点焊上去，上电极就和下电极穿通了，测得的电阻特别小。 (一个是100倍，另一个是200倍)  100xda.jpg  200xda.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有253人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146326
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.7小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
3楼2015-08-04 10:00:42