应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？
31/1返回列表
查看: 929  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？ 已有1人参与

直流反应磁控溅射 ， 缺氧氧化钛靶材，功率200w（电压480v），溅射压强 1Pa，O2：20sccm  Ar2：40SCCM 基底FTO，溅射2小时，

镀上钨电极直接看没什么问题，挺光滑的，但是显微镜下看就粗糙了，请各位大神看下怎么破。
点焊上去，上电极就和下电极穿通了，测得的电阻特别小。

(一个是100倍，另一个是200倍)

磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？
100xda.jpg


磁控溅射镀的膜比较粗糙怎么办？-1
200xda.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢
1楼 2015-07-27 09:36:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
功率太大了（偏压大），你设置这样的功率依据相关文献？
赞一下 回复此楼
2楼2015-08-03 18:03:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

做一个薄膜横截面的试样，对薄膜沉积颗粒的形状和尺寸进行一下观察和分析。因为对于薄膜的质量问题，除了溅射参数的影响以外，靶材的纯度、晶粒的晶粒度尺寸大小与均匀性也可能对此有着很大的影响。
赞一下 回复此楼
3楼2015-08-04 10:00:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 tang2014 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 296求调剂 +6 汪！？！ 2026-04-09 6/300 2026-04-11 11:25 by zhq0425
[考研] 化工求调剂！ +35 RichLi_ 2026-04-06 35/1750 2026-04-11 11:02 by zhq0425
[考研] 化学工程调剂289 +43 yang婷 2026-04-07 49/2450 2026-04-11 10:37 by 紫曦紫棋
[考研] 297求调剂 +9 Kwgyz 2026-04-09 9/450 2026-04-11 10:09 by zhq0425
[考研] 302分求调剂 +9 凡语祈愿 2026-04-08 10/500 2026-04-10 23:26 by 314126402
[考研] 326求调剂 +5 Shansyn 2026-04-10 5/250 2026-04-10 22:23 by 猪会飞
[考研] 273求调剂 +51 麦小叮当 2026-04-06 58/2900 2026-04-10 15:54 by jiajinhpu
[考研] 一志愿中科大070300化学，314分求调剂 +12 wakeluofu 2026-04-09 12/600 2026-04-10 09:57 by liuhuiying09
[考研] 085601初试330分找调剂 +10 流心奶黄包l 2026-04-09 10/500 2026-04-10 08:14 by Sammy2
[考研] 材料专硕调剂 +16 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 17/850 2026-04-09 21:16 by wutongshun
[考研] 332，085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[考研] 本科郑州大学，一志愿华东师范大学282求调剂 +23 熊哥xtk 2026-04-07 26/1300 2026-04-09 17:17 by 18446523
[考研] 307求调剂 +3 Youth@@ 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:00 by hemengdong
[考研] 专硕085403，291分，有两篇专利，一国一奖 +3 哈吉咪哈吉咪 2026-04-07 3/150 2026-04-07 18:21 by 蓝云思雨
[考研] 生物与医药求调剂 +7 heguanhua 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:41 by macy2011
[考研] 327求调剂 +4 拾光任染 2026-04-05 4/200 2026-04-05 20:16 by 南航~万老师
[考研] 一志愿青科085500，初试295分，公共课213分 +3 遇到的人愿望都� 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:45 by 蓝云思雨
[考研] 生物学308分求调剂（一志愿华东师大） +8 相信必会光芒万� 2026-04-05 10/500 2026-04-05 12:19 by Hdyxbekcb
[考研] 313求调剂 +3 海日海日 2026-04-04 3/150 2026-04-05 07:48 by 544594351
[考研] 可跨专业调剂 +3 周的得地 2026-04-04 6/300 2026-04-04 22:21 by barlinike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭