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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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[交流] 离子束刻蚀机（考夫曼离子源）

大家好！我目前的研究方向是铁电薄膜材料的干法刻蚀工艺，用到的是离子束刻蚀机，其中有个问题是怎样判断我刻蚀到何处了，如何实时测量知道我的刻蚀情况（如厚度）。从仪器改造时一个方面，还能从哪个方面考虑！谢谢！

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1楼 2015-07-17 17:25:36

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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:

18楼: Originally posted by dxy520 at 2016-02-14 16:26:50
铁电薄膜的反转电流检测，需要用什么仪器检测（在电场作用下，电流随加的电场方向不同，而发生转向），请不吝赐教，万分感谢！（查了一些资料就是没有提用什么仪器检测，请帮帮忙！再次感谢！）

不好意思，我也测过！

发自小木虫Android客户端