应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 关于全自动离子束刻蚀机的相关问题
81/1返回列表
查看: 1764  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[求助] 关于全自动离子束刻蚀机的相关问题 已有2人参与

请教相关虫友们，关于全自动离子束刻蚀机（如图四）的相关问题。
1、考夫曼离子源的相关参数，目前仪器相对而言还算正常，但是加速级电流容易超过20mA,书上说可以通过降低阴极电流和提高屏极电压来改变，可是效果不明显，反而会影响到其它参数的稳定性。并且我的离子束流密度最大只能到达0.7mA/cm2.(如图一)
2、我调整了刻蚀的离子束入射角度，一般用0度，我分别用15、30、45、60、75度做对比，发现45度时的刻蚀速率最大，但目前表面粗糙度的情况还没有对比。怎么解释这个情况。（我所想到的是从物理轰击后，粒子容易掉落的角度出发，可现在还不能自圆其说，惭愧！）     (如图二，实物图)
3、我本想研究腔体压强与刻蚀速率和效果的关系，但是不能实时监控腔体压强值（说明书所说，一旦通入气体，则须关掉真空计，我在刻蚀过程中，是需一直通入氩气的，那就不知道腔体压强了）。我想知道大家是怎么做的，有文献研究了相关问题。(如图三)
4、流量计显示的流量值在刻蚀的过程中会发生跳动，这会影响到刻蚀参数，屏极一下子灭弧了，然后慢慢的变得正常。其实氩气罐事先就把参数调好了，但是不知为何还出现此情况。
5、中和电流和阴极电流，我设定的是中和大于阴极，但是实际却相反，这一点影响大吗？
       感谢回复！

关于全自动离子束刻蚀机的相关问题
IMG_20151209_105353.jpg


关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-1
IMG_20151208_174442.jpg


关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-2
IMG_20151126_174347.jpg


关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-3
IMG_20151208_095800.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-10 11:01:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
问题1.不了解，建议问离子源生产厂家。2.刻蚀角度可以影响刻蚀速率，理论上讲垂直入射，速率最小。3.高真空规管一般情况下是可以开启的，不让开应该是离子源开启对规管有影响，可以对规管加个屏蔽解决这一问题。4.流量计示数不稳定，很可能是流量计本身有问题，不排除流量计两段压差巨变造成的。5.不了解，建议问厂家。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

勿忘心安里
2楼2015-12-11 09:56:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上海依阳

禁虫 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2015-12-12 10:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 上海依阳 at 2015-12-12 10:43:40
可以增加一路高精度的压强控制单元，精确控制腔体内的氩气气压，可能对刻蚀有明显效果。

问题怎么加进去，这设备想改造的话，不知从何入手。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-12 10:49:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-11 09:56:29
问题1.不了解，建议问离子源生产厂家。2.刻蚀角度可以影响刻蚀速率，理论上讲垂直入射，速率最小。3.高真空规管一般情况下是可以开启的，不让开应该是离子源开启对规管有影响，可以对规管加个屏蔽解决这一问题。4.流 ...

非常感谢你的回复，让你花时间了。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2015-12-13 23:47:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上海依阳

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
6楼2015-12-14 07:31:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 上海依阳 at 2015-12-14 07:31:18
增加高精度的真空度控制不难，只要在腔体外部的真空管路（如连接真空泵和放气阀的管路），增加真空计、数字控制、真空度显示和控制系统就可以。详细内容可参考本司网页http://www.eyoungindustry.com/2014/48/16.ht ...

好的！

发自小木虫Android客户端
回复此楼
7楼2015-12-14 10:51:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蚊子咬了猪猪

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你好，不知道你毕业了没有，能不能看到我的咨询，虽说我们离子刻蚀仪器不同，但是原理是差不多的。有几个问题想请教下：
1.设置面板上阴极电流和中和电流的参数设置有什么关系吗？和刻蚀时显示的束流和中和电流有什么关系？
2.为什么刻蚀的时候束流会减小，中和电流增大。
3,。正常情况下，刻蚀时候辉光是什么颜色的？你们刻蚀的时候束流是多少mA？能量是多少eV？大概刻蚀Au、NiFe、Pt这些速率大概是多少？
谢谢
赞一下 回复此楼
8楼2017-05-20 08:59:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 勿忘心安里 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 化学专业申博 +3 赵子羊 2026-05-23 4/200 2026-05-24 18:10 by 工大学长
[基金申请] 评审有感 +16 popular289 2026-05-18 27/1350 2026-05-24 17:34 by hhs666
[教师之家] 论文撤稿了 +4 bjvtcliu 2026-05-24 7/350 2026-05-24 17:29 by bjvtcliu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 hvkbtfonbv 2026-05-23 4/200 2026-05-24 17:21 by 75ui6h7z2t
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:01 by 75ui6h7z2t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 5/250 2026-05-24 16:21 by hhx1yx9evi
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 4/200 2026-05-24 16:16 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！ +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[考博] 26/27申博自荐 10+4 ZXW0202 2026-05-22 9/450 2026-05-24 08:47 by bjvtcliu
[基金申请] 青B发送上会通知了吗 +5 chemBioBro 2026-05-22 7/350 2026-05-23 12:35 by zhuifengzhy
[考博] 博士申请 +3 焦晓明 2026-05-21 3/150 2026-05-23 11:26 by mlc840311
[论文投稿] 投稿求助，期刊 +4 希冀，有书读 2026-05-20 8/400 2026-05-22 10:16 by 希冀，有书读
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 国自然评分 +4 无名者登山 2026-05-20 5/250 2026-05-21 16:35 by swuq
[基金申请] 国自然上会要求 +7 无名者登山 2026-05-18 11/550 2026-05-21 15:50 by draco1987
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[考博] 如果工作了想读博，可以边工作边读全日制嘛？ 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭