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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 关于全自动离子束刻蚀机的相关问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[求助] 关于全自动离子束刻蚀机的相关问题 已有2人参与

请教相关虫友们，关于全自动离子束刻蚀机（如图四）的相关问题。
1、考夫曼离子源的相关参数，目前仪器相对而言还算正常，但是加速级电流容易超过20mA,书上说可以通过降低阴极电流和提高屏极电压来改变，可是效果不明显，反而会影响到其它参数的稳定性。并且我的离子束流密度最大只能到达0.7mA/cm2.(如图一)
2、我调整了刻蚀的离子束入射角度，一般用0度，我分别用15、30、45、60、75度做对比，发现45度时的刻蚀速率最大，但目前表面粗糙度的情况还没有对比。怎么解释这个情况。（我所想到的是从物理轰击后，粒子容易掉落的角度出发，可现在还不能自圆其说，惭愧！）     (如图二，实物图)
3、我本想研究腔体压强与刻蚀速率和效果的关系，但是不能实时监控腔体压强值（说明书所说，一旦通入气体，则须关掉真空计，我在刻蚀过程中，是需一直通入氩气的，那就不知道腔体压强了）。我想知道大家是怎么做的，有文献研究了相关问题。(如图三)
4、流量计显示的流量值在刻蚀的过程中会发生跳动，这会影响到刻蚀参数，屏极一下子灭弧了，然后慢慢的变得正常。其实氩气罐事先就把参数调好了，但是不知为何还出现此情况。
5、中和电流和阴极电流，我设定的是中和大于阴极，但是实际却相反，这一点影响大吗？
       感谢回复！

关于全自动离子束刻蚀机的相关问题
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关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-1
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关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-2
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关于全自动离子束刻蚀机的相关问题-3
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1楼 2015-12-10 11:01:17
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Friend007

银虫 (知名作家)
问题1.不了解，建议问离子源生产厂家。2.刻蚀角度可以影响刻蚀速率，理论上讲垂直入射，速率最小。3.高真空规管一般情况下是可以开启的，不让开应该是离子源开启对规管有影响，可以对规管加个屏蔽解决这一问题。4.流量计示数不稳定，很可能是流量计本身有问题，不排除流量计两段压差巨变造成的。5.不了解，建议问厂家。

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勿忘心安里
2楼2015-12-11 09:56:29
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上海依阳

禁虫 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2015-12-12 10:43:40
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 上海依阳 at 2015-12-12 10:43:40
可以增加一路高精度的压强控制单元，精确控制腔体内的氩气气压，可能对刻蚀有明显效果。

问题怎么加进去，这设备想改造的话，不知从何入手。

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4楼2015-12-12 10:49:53
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-11 09:56:29
问题1.不了解，建议问离子源生产厂家。2.刻蚀角度可以影响刻蚀速率，理论上讲垂直入射，速率最小。3.高真空规管一般情况下是可以开启的，不让开应该是离子源开启对规管有影响，可以对规管加个屏蔽解决这一问题。4.流 ...

非常感谢你的回复，让你花时间了。

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5楼2015-12-13 23:47:46
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上海依阳

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
6楼2015-12-14 07:31:18
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 上海依阳 at 2015-12-14 07:31:18
增加高精度的真空度控制不难，只要在腔体外部的真空管路（如连接真空泵和放气阀的管路），增加真空计、数字控制、真空度显示和控制系统就可以。详细内容可参考本司网页http://www.eyoungindustry.com/2014/48/16.ht ...

好的！

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7楼2015-12-14 10:51:48
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蚊子咬了猪猪

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你好，不知道你毕业了没有，能不能看到我的咨询，虽说我们离子刻蚀仪器不同，但是原理是差不多的。有几个问题想请教下：
1.设置面板上阴极电流和中和电流的参数设置有什么关系吗？和刻蚀时显示的束流和中和电流有什么关系？
2.为什么刻蚀的时候束流会减小，中和电流增大。
3,。正常情况下，刻蚀时候辉光是什么颜色的？你们刻蚀的时候束流是多少mA？能量是多少eV？大概刻蚀Au、NiFe、Pt这些速率大概是多少？
谢谢
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8楼2017-05-20 08:59:38
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