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离子束刻蚀机（考夫曼离子源）
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| 大家好！我目前的研究方向是铁电薄膜材料的干法刻蚀工艺，用到的是离子束刻蚀机，其中有个问题是怎样判断我刻蚀到何处了，如何实时测量知道我的刻蚀情况（如厚度）。从仪器改造时一个方面，还能从哪个方面考虑！谢谢！ |
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 薄膜制备与特性 |
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