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[交流]
离子束刻蚀机(考夫曼离子源)
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| 大家好!我目前的研究方向是铁电薄膜材料的干法刻蚀工艺,用到的是离子束刻蚀机,其中有个问题是怎样判断我刻蚀到何处了,如何实时测量知道我的刻蚀情况(如厚度)。从仪器改造时一个方面,还能从哪个方面考虑!谢谢! |
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薄膜制备与特性 |
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