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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 离子束刻蚀机（考夫曼离子源）
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 离子束刻蚀机（考夫曼离子源）

大家好！我目前的研究方向是铁电薄膜材料的干法刻蚀工艺，用到的是离子束刻蚀机，其中有个问题是怎样判断我刻蚀到何处了，如何实时测量知道我的刻蚀情况（如厚度）。从仪器改造时一个方面，还能从哪个方面考虑！谢谢！
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1楼2015-07-17 17:25:36
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黄治浩

新虫 (小有名气)
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

蜷缩一角

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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

蜷缩一角

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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

dxy520

铜虫 (正式写手)
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
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xiejf2楼
2015-07-17 17:29   回复  
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一
dmbb3楼
2015-07-17 17:29   回复  
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douguanqi4楼
2015-07-17 17:36   回复  
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youngen5楼
2015-07-17 17:37   回复  
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seeker916楼
2015-07-17 17:53   回复  
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天涯20127楼
2015-07-17 18:03   回复  
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shenrenren8楼
2015-07-17 18:24   回复  
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jixiangbao9楼
2015-07-17 18:34   回复  
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caledonian10楼
2015-07-17 18:46   回复  
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miaojiabing11楼
2015-07-17 18:57   回复  
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