| 查看: 1472 | 回复: 21 | |||
[交流]
想应用光刻和湿法刻蚀 作出有规则排列的纳米线，高手进！
|
|||
|
实验室条件有限，所以只能用湿法刻蚀实现单晶硅纳米线， 初步：无序纳米线，是将洗好的硅片放到（一定浓度的）硝酸银和氢氟酸溶液里，硅片表面沉积一层Ag粒子，然后将样品放入到一定浓度的氢氟酸和双氧水溶液中，水浴50°2个小时，然后硝酸溶解Ag粒子，HF去除氧化物，SEM扫描看到排列密密麻麻的线体。 其次，对硅片进行光刻处理，处理前先在硅片表面热氧化一层二氧化硅，光刻完硅片表面形成一层直径5微米的圆孔（二氧化硅掩膜）圆孔是暴露的硅，其余是二氧化硅覆盖。 然后想应用初步操作湿法刻蚀出有序的纳米线，但是（失败了）（原因，氢氟酸将二氧化硅掩膜破坏掉） 最后，想问一下高手，我想用光刻加湿法刻蚀作出规则性排列的纳米线，能实现吗，现在准备买负性光刻胶，（硅片先热氧化）准备光刻完将样品放到TMAH溶液或者HF：HNO3:醋酸溶液中进行湿法刻蚀，这样做可行吗？在线等 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有72人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-招收26年秋季入化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-招收化学博士1名
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？
已经有10人回复
- ICP刻蚀光刻负胶SU-8
已经有5人回复
- 光刻和电子束刻蚀做金属图案
已经有8人回复
- 湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
已经有4人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
招聘启事 江南大学乳品加工与营养健康团队博士后招聘
+2/110
-
限广州，征女友
+2/104
-
西北工业大学民航学院招博士与硕士复合材料方向
+1/89
-
华南师范大学胡勇军教授课题组招收2026年博士研究生
+1/80
-
【2026/2027 哈工大计算机类博士招生】
+1/78
-
【2026/2027 哈工大计算机类博士/硕士招生】
+1/75
-
大连工业大学 超临界流体技术团队（纺材学院）招收2026级“申请-考核制”博士生
+1/58
-
东北大学-招收2026年硕士研究生2-3名（金属材料3D打印方向）
+5/45
-
南开大学物理学院张书辉副教授招收凝聚态物理理论方向博士生、硕士生
+1/30
-
【青岛大学】2026年生物与医药博士生招生（含少数民族骨干人才）
+1/28
-
武汉大学博士生/直博生招聘（微纳光驱动与片上光子学）
+5/25
-
工作越来越狂野
+1/7
-
顺磁计算交流
+1/5
-
英国埃克塞特大学联合培养博士,访问学者, 博后依托申请
+1/5
-
澳科大诚招2026年秋季生物材料全奖博士研究生（今日16:30线上宣讲会）
+1/4
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/2
-
深圳大学院士团队2026“申请-考核制”博士研究生招生
+1/2
-
中山大学柔性电子学院黄维院士团队诚招柔性可穿戴电子方向博士生（2026年9月入学）
+1/2
-
南开大学齐迹课题组诚聘分子生物学、免疫学、有机分子合成相关方向的博士后和研究生
+1/1
-
中山大学农业与生物技术学院周潇峰课题组诚聘微生物/植物病理学方向科研助理
+1/1
14楼2015-06-11 18:33:54
15楼2015-06-11 18:35:30
简单回复
2015-06-11 17:34
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
A
stl4093楼
2015-06-11 17:52
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
2015-06-11 17:53
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
dmbb5楼
2015-06-11 17:57
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
laom20136楼
2015-06-11 18:04
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
jeangong7楼
2015-06-11 18:05
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
yangjh088楼
2015-06-11 18:08
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
tzynew9楼
2015-06-11 18:08
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
天涯201210楼
2015-06-11 18:11
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
shenrenren11楼
2015-06-11 18:13
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
河工潘潘12楼
2015-06-11 18:29
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
youngen13楼
2015-06-11 18:31
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
Biotage16楼
2015-06-11 18:36
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
jianing11917楼
2015-06-11 18:38
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
于士辉18楼
2015-06-11 18:38
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
1
小虫199219楼
2015-06-11 18:40
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
小木鸭20楼
2015-06-11 18:42
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
Jameskelly21楼
2015-06-12 09:00
回复
范少(金币+1): 谢谢参与
douguanqi22楼
2015-06-12 09:16
回复