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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问ALD长的氧化铝怎么图形化？不想湿法腐蚀，干法的话苏州纳米所也不知道参数
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huazaisss

金虫 (正式写手)

[求助] 请问ALD长的氧化铝怎么图形化？不想湿法腐蚀，干法的话苏州纳米所也不知道参数 已有2人参与

小弟懂的比较少，想问个问题，就是我在金电极上面长了十几纳米的氧化铝（不得已长在了上面），这块区域的氧化铝是我不想要的（只有这个圆形的区域上面的氧化铝要去除，半径不到10微米），因为我想在这个电极上通电（电压3V左右，这十几纳米的氧化铝会导致不通电吧？还是这么薄的氧化铝能通电？），我想把这层氧化铝掏一个圆形的孔，然后再通电.......所以要去除......但是怎么去除啊，又不能整片的去除
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1楼 2015-05-25 15:37:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻+刻蚀。十几nm很薄，可以用ICP，也可以用IBE。
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2楼2015-05-28 12:48:55
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huazaisss

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-05-28 12:48:55
光刻+刻蚀。十几nm很薄，可以用ICP，也可以用IBE。

有没有速率啊，怕刻穿啊
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3楼2015-05-29 09:22:21
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yyk羊肉串

铜虫 (正式写手)
你最后用了什么方法刻掉了电极上面的氧化层啊？能交流一下吗381557757
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大家加油
4楼2015-06-12 16:34:27
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huazaisss

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yyk羊肉串 at 2015-06-12 16:34:27
你最后用了什么方法刻掉了电极上面的氧化层啊？能交流一下吗381557757

现在还没去掉，想试试IPC180干法刻
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5楼2015-08-24 17:23:23
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guomi32

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2016-01-04 23:04:34
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2016-01-05 11:14:35
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半导体奇才

新虫 (初入文坛)
您最后怎么解决了呢

发自小木虫IOS客户端
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8楼2021-10-19 21:56:05
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