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huazaisss

金虫 (正式写手)

[求助] 请问ALD长的氧化铝怎么图形化?不想湿法腐蚀,干法的话苏州纳米所也不知道参数 已有2人参与

小弟懂的比较少,想问个问题,就是我在金电极上面长了十几纳米的氧化铝(不得已长在了上面),这块区域的氧化铝是我不想要的(只有这个圆形的区域上面的氧化铝要去除,半径不到10微米),因为我想在这个电极上通电(电压3V左右,这十几纳米的氧化铝会导致不通电吧?还是这么薄的氧化铝能通电?),我想把这层氧化铝掏一个圆形的孔,然后再通电.......所以要去除......但是怎么去除啊,又不能整片的去除
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半导体奇才

新虫 (初入文坛)

8楼2021-10-19 21:56:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
光刻+刻蚀。十几nm很薄,可以用ICP,也可以用IBE。
2楼2015-05-28 12:48:55
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huazaisss

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-05-28 12:48:55
光刻+刻蚀。十几nm很薄,可以用ICP,也可以用IBE。

有没有速率啊,怕刻穿啊
3楼2015-05-29 09:22:21
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yyk羊肉串

铜虫 (正式写手)

你最后用了什么方法刻掉了电极上面的氧化层啊?能交流一下吗381557757
大家加油
4楼2015-06-12 16:34:27
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