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请问ALD长的氧化铝怎么图形化？不想湿法腐蚀，干法的话苏州纳米所也不知道参数 已有2人参与
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小弟懂的比较少，想问个问题，就是我在金电极上面长了十几纳米的氧化铝（不得已长在了上面 ），这块区域的氧化铝是我不想要的（只有这个圆形的区域上面的氧化铝要去除，半径不到10微米），因为我想在这个电极上通电（电压3V左右，这十几纳米的氧化铝会导致不通电吧？还是这么薄的氧化铝能通电？），我想把这层氧化铝掏一个圆形的孔，然后再通电.......所以要去除......但是怎么去除啊，又不能整片的去除 |
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7楼2016-01-05 11:14:35
yswyx 
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2015-05-28 12:48:55
3楼2015-05-29 09:22:21
4楼2015-06-12 16:34:27
50