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关于薄膜晶体材料应力的分析
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关于薄膜晶体材料应力的分析
最近在研究氮化物薄膜材料应力产生以及对于材料性质的影响,想要表征一下在薄膜表面的应力场的分布情况,就是想看看哪些区域是受压应力哪些区域是受张应力,最好能表征出应力场来,想问问各位虫友有没有什么办法可以达到以上目的呢?
用曲率来推算应力情况是宏观应力值吧,想看看在薄膜表面这一平面内,应力是怎么分部的,尤其是想看看压应力与张应力是否分布在同一平面内的不同区域里~~先行谢过啦!
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