| 查看: 1988 | 回复: 9 | |||
bill1989914银虫 (初入文坛)
|
[求助]
E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？ 已有3人参与
|
|
求助,Ti/Au 40nm/110nm ,E-beam 在quartz上。要做lift-off。结果表面形成直径2~20微米不等的圆形的颗粒，随机分布在我的金表面上。 有意思的现象是，这些颗粒在有光刻胶的部分出现的概率小，尺寸也小；在显影后的石英部分出现的概率大，尺寸也大。 之前的加工从来没有出过这样的问题。 而且也能够排除晶片不洁净的可能。 我的蒸镀速率都为 5A/s ，以前设个速率很正常的。 PS： 后来我进一步减少了速率到2A/s，该现象基本消失，但是出现了粘附性十分差的情况。用胶带一粘，金属层就脱落了。 请大家帮帮忙啊， 上传图片  dust3.jpg  dust1.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有232人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
akatsukiU
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 20035.8
- 散金: 28
- 红花: 1
- 帖子: 1817
- 在线: 261.8小时
- 虫号: 1159332
- 注册: 2010-11-30
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
2楼2015-05-15 10:51:54
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14721.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
3楼2015-05-15 13:52:15
4楼2015-10-23 10:29:18
5楼2016-03-07 23:18:45
6楼2017-04-17 21:19:25
7楼2017-04-17 21:20:20
blg322
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 0.1
- 散金: 15
- 帖子: 33
- 在线: 12.2小时
- 虫号: 3709865
- 注册: 2015-03-04
- 性别: GG
- 专业: 原子和分子物理
8楼2017-05-11 18:07:48
bill1989914
银虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 721
- 红花: 1
- 帖子: 36
- 在线: 60.8小时
- 虫号: 1906165
- 注册: 2012-07-23
- 专业: 生化分析及生物传感
9楼2018-05-02 05:55:29
bill1989914
银虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 721
- 红花: 1
- 帖子: 36
- 在线: 60.8小时
- 虫号: 1906165
- 注册: 2012-07-23
- 专业: 生化分析及生物传感
10楼2018-05-02 05:57:32
