| 查看: 1637 | 回复: 9 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
bill1989914银虫 (初入文坛)
|
[求助]
E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？ 已有3人参与
|
|
|
求助,Ti/Au 40nm/110nm ,E-beam 在quartz上。要做lift-off。结果表面形成直径2~20微米不等的圆形的颗粒，随机分布在我的金表面上。 有意思的现象是，这些颗粒在有光刻胶的部分出现的概率小，尺寸也小；在显影后的石英部分出现的概率大，尺寸也大。 之前的加工从来没有出过这样的问题。 而且也能够排除晶片不洁净的可能。 我的蒸镀速率都为 5A/s ，以前设个速率很正常的。 PS： 后来我进一步减少了速率到2A/s，该现象基本消失，但是出现了粘附性十分差的情况。用胶带一粘，金属层就脱落了。 请大家帮帮忙啊， 上传图片  dust3.jpg  dust1.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有293人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
5楼2016-03-07 23:18:45
akatsukiU
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 20035.8
- 散金: 28
- 红花: 1
- 帖子: 1817
- 在线: 261.8小时
- 虫号: 1159332
- 注册: 2010-11-30
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
2楼2015-05-15 10:51:54
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14720.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
3楼2015-05-15 13:52:15
4楼2015-10-23 10:29:18
