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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？
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bill1989914

银虫 (初入文坛)

[求助] E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？ 已有3人参与

求助,Ti/Au 40nm/110nm ,E-beam 在quartz上。要做lift-off。结果表面形成直径2~20微米不等的圆形的颗粒，随机分布在我的金表面上。

有意思的现象是，这些颗粒在有光刻胶的部分出现的概率小，尺寸也小；在显影后的石英部分出现的概率大，尺寸也大。
之前的加工从来没有出过这样的问题。 而且也能够排除晶片不洁净的可能。
我的蒸镀速率都为 5A/s ，以前设个速率很正常的。

PS： 后来我进一步减少了速率到2A/s，该现象基本消失，但是出现了粘附性十分差的情况。用胶带一粘，金属层就脱落了。

请大家帮帮忙啊，
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E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？
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E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？-1
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1楼 2015-05-15 10:17:54
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是source的问题？
镀率好慢，薄膜质量也容易不好吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2015-05-15 13:52:15
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akatsukiU

至尊木虫 (著名写手)
Ti层为啥镀这么厚，几个纳米就行了吧
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2楼2015-05-15 10:51:54
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jonystrip

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

真空度是不是不够，有可能使气泡。
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4楼2015-10-23 10:29:18
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4714129

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我用磁控溅射，也是钛金，真空度不够的时候就会出现粘附性不够或者气泡。
后来检查有两个地方出问题，一是本底真空度不够，5e-5pa的效果跟5e-4pa的效果差很多，二是氦气纯净度，当时换了一瓶氦气，管路忘了抽净也出现了气泡
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2016-03-07 23:18:45
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