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wanghao524

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[求助] 小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色，而多事暗黄色或者棕黄色已有3人参与

如题，Ar：N2=15：1通过能谱涂层的Ti:N比是1:1，偏压-100v，2Ti功率800w，总压0.1.。。。。请问如何沉积得到金黄色TIN涂层？

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1楼 2015-05-02 10:20:50

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wanghao524

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引用回帖:

3楼: Originally posted by njrlfu at 2015-05-04 13:00:48
磁控溅射薄膜的N:Ti比很难控制，建议楼主试试离子镀，不知楼主是在什么基体上镀TiN，如果是钢铁材料，离子镀TiN是很成熟的，而且所镀的TiN的颜色还可以微调。如果同时镀AlTiN，颜色就会变成灰色或黑色。

谢谢基体是不锈钢和硅片，我没有掺铝