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wanghao524

新虫 (小有名气)

[求助] 小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色,而多事暗黄色或者棕黄色 已有3人参与

如题,Ar:N2=15:1通过能谱涂层的Ti:N比是1:1,偏压-100v,2Ti功率800w,总压0.1.。。。。请问如何沉积得到金黄色TIN涂层?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wanghao524: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢 2015-05-02 15:08:27
是否因为溅镀室存在漏气,而导致镀膜轻微氧化所致呢?
2楼2015-05-02 11:13:57
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射薄膜的N:Ti比很难控制,建议楼主试试离子镀,不知楼主是在什么基体上镀TiN,如果是钢铁材料,离子镀TiN是很成熟的,而且所镀的TiN的颜色还可以微调。如果同时镀AlTiN,颜色就会变成灰色或黑色。
3楼2015-05-04 13:00:48
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wanghao524

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by njrlfu at 2015-05-04 13:00:48
磁控溅射薄膜的N:Ti比很难控制,建议楼主试试离子镀,不知楼主是在什么基体上镀TiN,如果是钢铁材料,离子镀TiN是很成熟的,而且所镀的TiN的颜色还可以微调。如果同时镀AlTiN,颜色就会变成灰色或黑色。

谢谢   基体是不锈钢和硅片,我没有掺铝
4楼2015-05-04 20:45:21
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


wanghao524: 金币+1, ★★★★★最佳答案 2015-05-05 16:26:21
我感觉可能与你镀膜厚度有关,如果膜层厚度比较薄的话,衬底的颜色也会影响到薄膜的颜色,你可以把镀膜的时间延长一下看看是否有改善。
5楼2015-05-05 11:01:03
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

有可能本底真空度不够 残余气体杂质
6楼2015-05-05 15:23:42
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