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wanghao524新虫 (小有名气)
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小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色,而多事暗黄色或者棕黄色 已有3人参与
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| 如题,Ar:N2=15:1通过能谱涂层的Ti:N比是1:1,偏压-100v,2Ti功率800w,总压0.1.。。。。请问如何沉积得到金黄色TIN涂层? |
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peterflyer
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peterflyer
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2楼2015-05-02 11:13:57
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4楼2015-05-04 20:45:21
njrlfu
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