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wanghao524

新虫 (小有名气)

[求助] 小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色,而多事暗黄色或者棕黄色已有3人参与

如题,Ar:N2=15:1通过能谱涂层的Ti:N比是1:1,偏压-100v,2Ti功率800w,总压0.1.。。。。请问如何沉积得到金黄色TIN涂层?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wanghao524: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢 2015-05-02 15:08:27
是否因为溅镀室存在漏气,而导致镀膜轻微氧化所致呢?
2楼2015-05-02 11:13:57
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