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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色，而多事暗黄色或者棕黄色
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wanghao524

新虫 (小有名气)

[求助] 小弟磁控溅射沉积TiN总是得不到传说中的金黄色，而多事暗黄色或者棕黄色 已有3人参与

如题，Ar：N2=15：1通过能谱涂层的Ti:N比是1:1，偏压-100v，2Ti功率800w，总压0.1.。。。。请问如何沉积得到金黄色TIN涂层？
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1楼 2015-05-02 10:20:50
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wanghao524: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢 2015-05-02 15:08:27
是否因为溅镀室存在漏气，而导致镀膜轻微氧化所致呢？
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2楼2015-05-02 11:13:57
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磁控溅射薄膜的N:Ti比很难控制，建议楼主试试离子镀，不知楼主是在什么基体上镀TiN，如果是钢铁材料，离子镀TiN是很成熟的，而且所镀的TiN的颜色还可以微调。如果同时镀AlTiN，颜色就会变成灰色或黑色。
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3楼2015-05-04 13:00:48
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wanghao524

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by njrlfu at 2015-05-04 13:00:48
磁控溅射薄膜的N:Ti比很难控制，建议楼主试试离子镀，不知楼主是在什么基体上镀TiN，如果是钢铁材料，离子镀TiN是很成熟的，而且所镀的TiN的颜色还可以微调。如果同时镀AlTiN，颜色就会变成灰色或黑色。

谢谢   基体是不锈钢和硅片，我没有掺铝
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4楼2015-05-04 20:45:21
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
wanghao524: 金币+1, ★★★★★最佳答案 2015-05-05 16:26:21
我感觉可能与你镀膜厚度有关，如果膜层厚度比较薄的话，衬底的颜色也会影响到薄膜的颜色，你可以把镀膜的时间延长一下看看是否有改善。
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5楼2015-05-05 11:01:03
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

有可能本底真空度不够 残余气体杂质
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6楼2015-05-05 15:23:42
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