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peiding76铜虫 (正式写手)
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如何在氧化硅基底上制备出硅纳米阵列结构？ 已有2人参与
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| 如题，基底是氧化硅，厚度在几微米左右就行，硅纳米阵列结构中硅纳米柱的尺寸在100-200nm之间。如果我选SOI硅片，或者氧化层硅片采用电子束或光刻技术有可能制造吗？我对制备不太懂，希望大家能指点一二，有文献推荐给我，更好了。 |
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