24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1162  |  回复: 6

然莫

木虫 (小有名气)

[求助] 做图案化如何选择硅基底

[求助]本人菜鸟一枚,需要在硅基底上进行图案化,但不知道如何选择硅片种类?是n型的还是p型的?100的还是111的?单面抛光还是双面抛光?组里没人做过,文献上也没说明,所以请教给位大神!还有在哪里能买到?
回复此楼
把最平凡的事做到最好就是不平凡
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+8, ★★★很有帮助 2012-12-12 22:18:46
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话,应该选择Si表面有一层出厂时就热氧化处理的氧化膜(几十-百多纳米厚)。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-12-12 20:44:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-12 20:44:52
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话, ...

万分感谢!!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
3楼2012-12-12 22:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+5, 就凭这热度 2012-12-13 23:02:40
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com
4楼2012-12-13 17:19:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-13 17:19:54
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com

非常感谢你!!我是做软刻蚀,后来和老板讨论,觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
5楼2012-12-13 23:07:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 然莫 at 2012-12-13 23:07:21
非常感谢你!!我是做软刻蚀,后来和老板讨论,觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你!...

soft lithography? 软光刻?
imprint的一种。云母片比较脆,小心使用。
6楼2012-12-14 14:55:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-14 14:55:38
soft lithography? 软光刻?
imprint的一种。云母片比较脆,小心使用。...

谢谢你的提醒
把最平凡的事做到最好就是不平凡
7楼2012-12-15 10:18:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 然莫 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料考研调剂 +24 云木达达 2026-04-11 26/1300 2026-04-12 00:23 by 蓝云思雨
[考研] 291求调剂 +7 关忆北. 2026-04-11 7/350 2026-04-11 23:48 by baobaoye
[考研] 277 数一104,学硕,求调剂 +21 瓶子PZ 2026-04-09 23/1150 2026-04-11 23:12 by labixiaoqiao
[考研] 343求调剂 +9 王国帅 2026-04-10 9/450 2026-04-11 20:31 by dongdian1
[考研] 0859,337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 生物学调剂 可调剂到生物与医药 +8 李政莹 2026-04-06 9/450 2026-04-11 10:36 by wwj2530616
[考研] 材料与化工调剂 10+11 下一站上岸@ 2026-04-10 36/1800 2026-04-11 10:26 by 89436494
[考研] 本科西工大 324求调剂 +4 wysyjs25 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:00 by 来看流星雨10
[考研] 307求调剂 +8 tzq94092 2026-04-10 8/400 2026-04-10 17:33 by 286640313
[考研] 282,电气工程专业,求调剂,不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[基金申请] 有爆料,一个青年教师卖房得400万,然后换了一个四青帽子 +9 babu2015 2026-04-08 9/450 2026-04-10 11:43 by 苏东坡二世
[考研] 一志愿中南大学物理学,英一66,求调剂 +4 长烟旖旎 2026-04-08 5/250 2026-04-10 10:31 by 颖果儿
[考研] 一志愿双非085400电子信息344 求调剂,对材料和化学方向也感兴趣 +8 无情的小羊 2026-04-09 9/450 2026-04-10 09:30 by 松花缸1201
[考研] 求调剂材料科学与工程一志愿985初试365分 +5 材化李可 2026-04-08 5/250 2026-04-09 17:00 by Lilly_Li
[考研] 专硕0854初试考材科基,求调剂 +7 3220548044 2026-04-06 10/500 2026-04-08 21:59 by hypershenger
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 275 求调剂 +8 Lei812514 2026-04-07 8/400 2026-04-08 12:46 by chemisry
[考研] 专硕085403,291分,有两篇专利,一国一奖 +3 哈吉咪哈吉咪 2026-04-07 3/150 2026-04-07 18:21 by 蓝云思雨
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-07 11/550 2026-04-07 15:13 by shdgaomin
[考研] 307求调剂 +3 所念及所望 2026-04-06 3/150 2026-04-06 17:30 by 土木硕士招生
信息提示
请填处理意见