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然莫

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[求助] 做图案化如何选择硅基底

[求助]本人菜鸟一枚，需要在硅基底上进行图案化，但不知道如何选择硅片种类？是n型的还是p型的？100的还是111的？单面抛光还是双面抛光？组里没人做过，文献上也没说明，所以请教给位大神！还有在哪里能买到？

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把最平凡的事做到最好就是不平凡

1楼 2012-12-12 20:21:38

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然莫

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2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-12 20:44:52
做为图案基板用的硅，掺杂导电类型无所谓，那个便宜选哪个，晶面的话，多数使用（100）的好画切。因为只用一面，因此，用单面抛光的。
此外，你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题，如果不需要的话， ...

万分感谢！！

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把最平凡的事做到最好就是不平凡

3楼2012-12-12 22:16:32

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4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-13 17:19:54
这要看你的图形化的手段和材料。
比如，你需要光刻，那你的光刻机有多大，能做几寸的片子？你是要刻蚀硅，还是硅上面长的薄膜？
你把你的需求发到我邮箱吧，我给你挑。wangyx@resemi.com

非常感谢你！！我是做软刻蚀，后来和老板讨论，觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你！