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然莫木虫 (小有名气)
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[求助]
做图案化如何选择硅基底
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| [求助]本人菜鸟一枚，需要在硅基底上进行图案化，但不知道如何选择硅片种类？是n型的还是p型的？100的还是111的？单面抛光还是双面抛光？组里没人做过，文献上也没说明，所以请教给位大神！还有在哪里能买到？ |
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 yswyx的关于光刻的各种回复 |
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Jackcd12
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2楼2012-12-12 20:44:52
然莫
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3楼2012-12-12 22:16:32
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【答案】应助回帖
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然莫: 金币+5, 就凭这热度 2012-12-13 23:02:40
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这要看你的图形化的手段和材料。 比如，你需要光刻，那你的光刻机有多大，能做几寸的片子？你是要刻蚀硅，还是硅上面长的薄膜？ 你把你的需求发到我邮箱吧，我给你挑。wangyx@resemi.com |
4楼2012-12-13 17:19:54
然莫
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5楼2012-12-13 23:07:21
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谢谢你的提醒 7楼2012-12-15 10:18:00
