24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1168  |  回复: 6

然莫

木虫 (小有名气)

[求助] 做图案化如何选择硅基底

[求助]本人菜鸟一枚,需要在硅基底上进行图案化,但不知道如何选择硅片种类?是n型的还是p型的?100的还是111的?单面抛光还是双面抛光?组里没人做过,文献上也没说明,所以请教给位大神!还有在哪里能买到?
回复此楼
把最平凡的事做到最好就是不平凡
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+8, ★★★很有帮助 2012-12-12 22:18:46
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话,应该选择Si表面有一层出厂时就热氧化处理的氧化膜(几十-百多纳米厚)。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-12-12 20:44:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-12 20:44:52
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话, ...

万分感谢!!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
3楼2012-12-12 22:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+5, 就凭这热度 2012-12-13 23:02:40
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com
4楼2012-12-13 17:19:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-13 17:19:54
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com

非常感谢你!!我是做软刻蚀,后来和老板讨论,觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
5楼2012-12-13 23:07:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 然莫 at 2012-12-13 23:07:21
非常感谢你!!我是做软刻蚀,后来和老板讨论,觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你!...

soft lithography? 软光刻?
imprint的一种。云母片比较脆,小心使用。
6楼2012-12-14 14:55:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-14 14:55:38
soft lithography? 软光刻?
imprint的一种。云母片比较脆,小心使用。...

谢谢你的提醒
把最平凡的事做到最好就是不平凡
7楼2012-12-15 10:18:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 然莫 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 346分,工科0854求调剂,专硕 +3 moser233 2026-04-12 3/150 2026-04-12 09:04 by lbsjt
[考研] 化学工程调剂289 +44 yang婷 2026-04-07 50/2500 2026-04-12 02:36 by 秋豆菜芽
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 22408调剂315分 +3 zhuangyan123 2026-04-09 3/150 2026-04-12 00:25 by 蓝云思雨
[考研] 化工调剂求导师收留!一志愿失利,踏实肯干,有植物提取科研经历 +20 yzyzx 2026-04-09 21/1050 2026-04-12 00:12 by 小小小小啦啦啦
[考研] 085400 328分 求调剂 +10 喂你一个大橙子 2026-04-09 14/700 2026-04-11 19:53 by lqspecial
[考研] 0859,337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 296求调剂 +6 汪!?! 2026-04-09 6/300 2026-04-11 11:25 by zhq0425
[考研] 机械专硕270求调剂,接受跨专业 +12 老师看看我吧aba 2026-04-09 14/700 2026-04-11 10:21 by laoshidan
[考研] 275求调剂 +9 1624447980 2026-04-08 10/500 2026-04-11 10:20 by Delta2012
[考研] 求调剂 材料与工程 324分 专硕 +19 翩翩一书生 2026-04-10 21/1050 2026-04-10 11:41 by wp06
[考研] 调剂申请086000一志愿西北农林科技大学生物与医药320分-本科齐鲁工业大学 +3 美美女士 2026-04-09 3/150 2026-04-10 10:31 by liuhuiying09
[考研] 环境专硕调剂 +16 会说话的肘子 2026-04-06 16/800 2026-04-10 10:30 by asy1wn
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 368化学求调剂 +13 wwwwabcde 2026-04-07 14/700 2026-04-09 14:47 by heaven_jay
[考研] 311求调剂 +6 surte 2026-04-08 13/650 2026-04-09 14:00 by surte
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级,数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 287分求调剂 有专利国奖一志愿哈工大085406 +6 白易辰 2026-04-06 7/350 2026-04-06 22:46 by 875465
[考研] 296求调剂 +3 汪!?! 2026-04-05 5/250 2026-04-05 17:38 by 蓝云思雨
[考研] 工科277分求调剂材料 +8 上了上了上哦 2026-04-05 9/450 2026-04-05 13:05 by wwytracy
信息提示
请填处理意见