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然莫

木虫 (小有名气)

[求助] 做图案化如何选择硅基底

[求助]本人菜鸟一枚,需要在硅基底上进行图案化,但不知道如何选择硅片种类?是n型的还是p型的?100的还是111的?单面抛光还是双面抛光?组里没人做过,文献上也没说明,所以请教给位大神!还有在哪里能买到?
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yswyx的关于光刻的各种回复

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把最平凡的事做到最好就是不平凡
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然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-13 17:19:54
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com

非常感谢你!!我是做软刻蚀,后来和老板讨论,觉得云母片比硅片更好。不过还是很感谢你!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
5楼2012-12-13 23:07:21
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+8, ★★★很有帮助 2012-12-12 22:18:46
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话,应该选择Si表面有一层出厂时就热氧化处理的氧化膜(几十-百多纳米厚)。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-12-12 20:44:52
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然莫

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-12 20:44:52
做为图案基板用的硅,掺杂导电类型无所谓,那个便宜选哪个,晶面的话,多数使用(100)的好画切。因为只用一面,因此,用单面抛光的。
此外,你还有根据你的图案与基板直接需不需要电连接的问题,如果不需要的话, ...

万分感谢!!
把最平凡的事做到最好就是不平凡
3楼2012-12-12 22:16:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
然莫: 金币+5, 就凭这热度 2012-12-13 23:02:40
这要看你的图形化的手段和材料。
比如,你需要光刻,那你的光刻机有多大,能做几寸的片子?你是要刻蚀硅,还是硅上面长的薄膜?
你把你的需求发到我邮箱吧,我给你挑。wangyx@resemi.com
4楼2012-12-13 17:19:54
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