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thetake

金虫 (小有名气)

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[求助] 求教硅衬底上SiO2薄层的均匀度检测

多晶硅片表面臭氧氧化生成一层5nm左右的SiO2薄膜，这种薄膜的亲水性相对硅衬底大幅提高，但薄膜均匀度较差，部分区域薄膜厚度很低，该部分亲水性也差一些，目前定性监控主要通过去离子水在表面的铺展速度来看，不知道可否通过化学染色等一些简单方法，直接显示SiO2薄层的制作质量，生产监控中遇到的问题，非常感谢！

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1楼 2015-04-20 09:24:28

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找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜已经有11人回复
【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法已经有11人回复

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