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SU-8 固化问题
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我想在su-8光刻胶上面再旋涂一层100nm左右的PMMA，实验中遇到了PMMA溶液溶掉了SU-8的表面部分 导致无法均匀旋涂的问题，所以想请教各位高手帮忙。实验过程是这样的： （1）衬底是亚克力板，然后在亚克力板上旋涂一层SU-8光刻胶，用的是Microchem的SU8-2100 加上SU-8稀释剂（环戊酮）， 在65度2分钟，90度半小时下加热，然后曝光，再同样温度条件下再固化。 （2） 然后在SU8上再旋涂PMMA溶液（4% 996K 溶剂是Anisole），然后缓慢加热到100度维持15分钟。 结果就是PMMA溶液旋涂不均匀，不像在硅片上直接旋涂的PMMA那样均匀透明。而且用镊子刮几下，明显看到底层SU8也能被剥离掉。 所以还烦请各位高手指教下，多谢了！ |
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