| 查看: 2385 | 回复: 2 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
SU-8 固化问题
|
||
|
我想在su-8光刻胶上面再旋涂一层100nm左右的PMMA，实验中遇到了PMMA溶液溶掉了SU-8的表面部分 导致无法均匀旋涂的问题，所以想请教各位高手帮忙。实验过程是这样的： （1）衬底是亚克力板，然后在亚克力板上旋涂一层SU-8光刻胶，用的是Microchem的SU8-2100 加上SU-8稀释剂（环戊酮）， 在65度2分钟，90度半小时下加热，然后曝光，再同样温度条件下再固化。 （2） 然后在SU8上再旋涂PMMA溶液（4% 996K 溶剂是Anisole），然后缓慢加热到100度维持15分钟。 结果就是PMMA溶液旋涂不均匀，不像在硅片上直接旋涂的PMMA那样均匀透明。而且用镊子刮几下，明显看到底层SU8也能被剥离掉。 所以还烦请各位高手指教下，多谢了！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有178人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
类似于PDMS的柔性材料
已经有7人回复- 激光干涉光刻应该选取什么样的光刻胶
已经有7人回复
- 请教橡胶脱模剂制作方法！
已经有6人回复
- 请问在微纳加工领域的PDMS或者PMMA的用途有什么呢？
已经有4人回复
- 微流控芯片 小通道做不好。
已经有15人回复
- 石膏模脱模剂应用
已经有3人回复
- 关于一种光刻胶的替代
已经有6人回复
- 求教各位，在强酸性条件下能否制备热固性的酚醛树脂？
已经有12人回复
- 求问如何设置旋涂浓度和转速？？
已经有7人回复
- 求助海藻酸钠除了溶于水之外还溶于什么溶液
已经有6人回复
- 聚氨酯胶粒溶解时溶剂的选择问题
已经有5人回复
- 环氧树脂交联固化后能否熔化？
已经有8人回复
- 铝上旋涂SU-8胶，粘附性不好，求助
已经有4人回复
- 如何不用溶液反应法降低材料表面能？
已经有10人回复
- 如何在铝表面涂聚四氟乙烯膜？
已经有14人回复
- 请教 光刻胶PMMA 的使用
已经有7人回复
- 【求助】有做微流控芯片的吗？请进！
已经有13人回复
648582818
版主 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 贵宾: 0.478
- 金币: 31825.5
- 散金: 358
- 红花: 42
- 沙发: 28
- 帖子: 2431
- 在线: 2822.4小时
- 虫号: 934162
- 注册: 2009-12-27
- 性别: GG
- 专业: 应用高分子化学与物理
- 管辖: 留学DIY
3楼2016-12-19 23:53:09
2楼2016-02-29 08:54:53