| 查看: 2234 | 回复: 14 | |||
刘德涛9107银虫 (小有名气)
|
[交流]
求牛人解决关于ALD的问题
|
|
小弟最近在沉积氧化铪薄膜，但是前两次沉积的厚度都是为0,前两次的沉积条件是：衬底温度为250,传输管道温度和腔壁的温度都为85，Hf源（四(乙基甲基氨基)铪）的温度75，pulse时间为0.3，purge时间为40,水的pulse时间为0.1，purge时间为80，（由于压强计是连接在和泵的管道的，所以在purge时才能知道原来反应腔体里的压强，当时发现给Hf残余物质进行抽出时），和基本压强相比压强变化很小，而水的变化就比较明显。所以以为是温度不够导致的，但是今天将源加热温度加到90，和基本压强相比貌似压强变化和前面一样，没有多大变化。 所以小弟想问的是给铪源（四(乙基甲基氨基)铪）加热一般要求温度多少比较合适呢？还有就是我这里的Hf源会不会是用完了？ |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有201人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 跪求牛人帮我解释下下面的程序
已经有6人回复
- 有没有fortran的牛人啊？求助求助
已经有8人回复
- 求推荐纳米牛人
已经有8人回复
- 染料敏化太阳能电池投稿求牛人指点
已经有5人回复
- 求各位牛人指点，哪个时期出国比较好，本科还是研究生？
已经有15人回复
- 审稿人是什么意思，我该怎么回答，求牛人指点
已经有21人回复
- 求牛人预测Aquatic Toxicology最新的影响因子！
已经有8人回复
- 小弟想用Fmoc-cl 保护丙氨酸的氨基，求各位牛人给点资料。。小弟感激不尽！
已经有13人回复
- 求牛人解决运行报错问题
已经有18人回复
- 一张电极修饰阻抗图，图线下方圆弧很小，求牛人解释...
已经有4人回复
- 求信号处理方面的牛人指点
已经有34人回复
- 求科普锂电牛人Nazar Linda（UNIV waterloo）的工作和学术地位
已经有16人回复
- 求牛人帮忙写一段COVER LETTER里面的一段话，谢谢！
已经有7人回复
- 求助ALD生长HfO2出现的问题
已经有13人回复
- 求助：XRF 测试精度问题，牛人请来看看
已经有8人回复
- 如何才能学好人名反应，求牛人指点
已经有22人回复
- 关于saa，两性分子，单分子层的问题，求牛人解答。。。。。
已经有7人回复
- 关于表面活性剂在气液界面上自组装成单分子层的问题，求牛人解答
已经有11人回复
- 【求助】Aldrich标准IR谱图
已经有6人回复
★
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
 |
2楼2015-04-12 16:18:30
★
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
 |
3楼2015-04-12 16:36:27
★
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
|
|
4楼2015-04-12 16:44:57
★
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
|
|
5楼2015-04-12 16:45:56
★
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
刘德涛9107(金币+1): 谢谢参与
|
|
6楼2015-04-12 16:47:41
|
|
7楼2015-04-12 16:59:16
|
|
8楼2015-04-12 17:23:08
|
|
9楼2015-04-12 22:31:34
nofrunolif
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 27 (小学生)
- 贵宾: 0.727
- 金币: 6239.6
- 散金: 8158
- 红花: 31
- 沙发: 2
- 帖子: 4300
- 在线: 2767.2小时
- 虫号: 489492
- 注册: 2008-01-02
- 专业: 无机非金属材料
10楼2015-04-14 04:04:47
