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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 正胶与负胶哪个更容易做lift-off，原理又是什么呢
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粽子粽子532

铁虫 (小有名气)

[交流] 正胶与负胶哪个更容易做lift-off，原理又是什么呢

对于接触式曝光，由于边缘的衍射，光会照射到铬层下面，正胶显影会形成上窄下寬，应该容易做lift-off；
而负胶做的图形是正梯形，不容易做lift-off。这种衍射原理的解释对不对？
看到有好多人说负胶比正胶容易形成倒梯形，容易做lift-off，不理解，有没有人能解答下疑问

正胶与负胶哪个更容易做lift-off，原理又是什么呢
正胶曝光.jpg


正胶与负胶哪个更容易做lift-off，原理又是什么呢-1
负胶曝光.jpg
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1楼 2015-03-17 15:36:43
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spiderman504

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
接近铬层的地方会有衍射，会使那部分被曝光，所以你刚好画反了。正胶显影出来是正梯形，负胶是倒梯形。之所以负胶去胶容易，我觉得是因为倒梯形和片子接触面积更小，去胶液浸泡以后，容易脱落。
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27楼2015-03-20 15:54:24
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godsdream09

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by 粽子粽子532 at 2015-03-18 10:04:16
没画反呀，光照处是正梯形，正胶是紫外光照射到的地方可以被显掉，而负胶是留下来，所以负胶留下的图形是正梯形，而正胶是倒梯形；正胶更好剥离才对...

说错了，光照处是倒梯形，你仔细看看工艺的书就知道了。
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粽子粽子532
24楼2015-03-18 11:19:29
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godsdream09

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你画反了，光照处是正梯形，所以负极更好剥才对！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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22楼2015-03-17 20:25:28
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主画反了，应该是倒梯形
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25楼2015-03-20 12:00:20
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seajean

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
电子束刻蚀上来说正交的分辨率更高。单纯从形貌来说，倒梯形容易lift off，而且side wall cling会更好。
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26楼2015-03-20 13:20:35
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perry_ping

新虫 (著名写手)
★
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
应该是负胶，必须是倒梯形才好剥离。我们是正胶反转用，相当于负胶。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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18楼2015-03-17 16:57:22
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粽子粽子532

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
22楼: Originally posted by godsdream09 at 2015-03-17 20:25:28
你画反了，光照处是正梯形，所以负极更好剥才对！

没画反呀，光照处是正梯形，正胶是紫外光照射到的地方可以被显掉，而负胶是留下来，所以负胶留下的图形是正梯形，而正胶是倒梯形；正胶更好剥离才对
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23楼2015-03-18 10:04:16
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粽子粽子532

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
24楼: Originally posted by godsdream09 at 2015-03-18 11:19:29
说错了，光照处是倒梯形，你仔细看看工艺的书就知道了。...

其实对光刻工艺不太懂就只知道皮毛，您能推荐本相关工艺书吗，最好中文，英语不太给力，谢谢了
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28楼2015-03-27 15:25:42
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
supernatural: 金币-2, 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下联系方式，请站内短消息联系 2020-05-27 09:13:29
本帖内容被屏蔽
29楼2020-05-24 09:14:31
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
supernatural: 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下联系方式，请站内短消息联系 2020-05-27 09:14:12
本帖内容被屏蔽
30楼2020-05-24 09:15:26
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zhchzhsh20762楼
2015-03-17 15:54   回复  
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
ylheping3楼
2015-03-17 16:03   回复  
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
syhorchid4楼
2015-03-17 16:13   回复  
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
ashlink5楼
2015-03-17 16:18   回复  
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yaoyao1456楼
2015-03-17 16:18   回复  
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
54smile晓7楼
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sunjing298楼
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假大空9楼
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aboluo19833110楼
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hydzp11楼
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小米山药12楼
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chengerey13楼
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kinple14楼
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xiawei201615楼
2015-03-17 16:34   回复  
粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
祝福
wangmingshur16楼
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粽子粽子532(金币+1): 谢谢参与
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liucheng88317楼
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tingting198219楼
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sz_kebaoyuan21楼
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