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十方

新虫 (小有名气)

[求助] SEM改装成电子束曝光 已有6人参与

想买个SEM改装成电子束曝光，不知国内哪地方有案例借鉴参考一下，求教育。
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1楼 2015-03-06 16:11:10
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Roteki

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
蔡司有现成产品的，SEM+图形发生器，就可以在电镜下做电子束曝光。
复旦有买过。
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2楼2015-03-06 17:03:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
国内的中科院电工所，一直做这个电子束改装。
国外的，问问Raith。
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3楼2015-03-06 17:48:34
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ltc0707

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ZEISS的SEM就可以做，我们学院就有
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4楼2015-03-07 10:56:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ltc0707 at 2015-03-07 10:56:31
ZEISS的SEM就可以做，我们学院就有

那个好像不是改装的。。Zeiss，FEI都有专门型号的FIB
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5楼2015-03-07 17:11:09
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eyes2015

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果是以观察为主要目的，那么可以选择这个SEM+图形发生器的方案；
如果是以制备高精度图形为主要目的，则需要正儿八经买个电子束曝机。
差别还是很大的。
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6楼2015-03-09 15:02:28
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电镜分好几种，+图形发生器可作电子束曝光。首先确认你不做大面积图形，否则电镜的工作台运动分辨率稍差些，拼接不好；线条需要多宽，热场电镜束斑最小，束流最稳，适合作曝光，但最贵。各种电镜上我们都能加图形发生器，把需求核对清楚为先。
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7楼2015-03-09 17:39:27
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十方

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ltc0707 at 2015-03-07 10:56:31
ZEISS的SEM就可以做，我们学院就有

可否留个联系方式
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8楼2015-04-06 22:38:37
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光刻达人

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这样的改造很早国内就有了，现在已经很成熟。我有非常详细的资料需要联系我。

发自小木虫IOS客户端
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9楼2016-01-12 22:21:32
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ls1747

新虫 (初入文坛)
NPGS，应用最广泛的改装

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ls1747@emuch@
10楼2016-01-13 09:03:08
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