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十方

新虫 (小有名气)

[求助] SEM改装成电子束曝光 已有6人参与

想买个SEM改装成电子束曝光，不知国内哪地方有案例借鉴参考一下，求教育。
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1楼 2015-03-06 16:11:10
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ltc0707 at 2015-03-07 10:56:31
ZEISS的SEM就可以做，我们学院就有

那个好像不是改装的。。Zeiss，FEI都有专门型号的FIB
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5楼2015-03-07 17:11:09
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Roteki

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
蔡司有现成产品的，SEM+图形发生器，就可以在电镜下做电子束曝光。
复旦有买过。
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2楼2015-03-06 17:03:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
国内的中科院电工所，一直做这个电子束改装。
国外的，问问Raith。
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3楼2015-03-06 17:48:34
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ltc0707

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ZEISS的SEM就可以做，我们学院就有
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4楼2015-03-07 10:56:31
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