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十方

新虫 (小有名气)

[求助] SEM改装成电子束曝光 已有6人参与

想买个SEM改装成电子束曝光,不知国内哪地方有案例借鉴参考一下,求教育。
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ls1747

新虫 (初入文坛)

ls1747@emuch@
10楼2016-01-13 09:03:08
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Roteki

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
蔡司有现成产品的,SEM+图形发生器,就可以在电镜下做电子束曝光。
复旦有买过。
2楼2015-03-06 17:03:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
国内的中科院电工所,一直做这个电子束改装。
国外的,问问Raith。
3楼2015-03-06 17:48:34
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ltc0707

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ZEISS的SEM就可以做,我们学院就有
4楼2015-03-07 10:56:31
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