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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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十方

新虫 (小有名气)

[求助] SEM改装成电子束曝光 已有6人参与

想买个SEM改装成电子束曝光,不知国内哪地方有案例借鉴参考一下,求教育。
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电镜分好几种,+图形发生器可作电子束曝光。首先确认你不做大面积图形,否则电镜的工作台运动分辨率稍差些,拼接不好;线条需要多宽,热场电镜束斑最小,束流最稳,适合作曝光,但最贵。各种电镜上我们都能加图形发生器,把需求核对清楚为先。
7楼2015-03-09 17:39:27
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Roteki

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
蔡司有现成产品的,SEM+图形发生器,就可以在电镜下做电子束曝光。
复旦有买过。
2楼2015-03-06 17:03:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
国内的中科院电工所,一直做这个电子束改装。
国外的,问问Raith。
3楼2015-03-06 17:48:34
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ltc0707

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ZEISS的SEM就可以做,我们学院就有
4楼2015-03-07 10:56:31
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