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sophie茶语金虫 (小有名气)
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[求助]
反应离子刻蚀和衬底磁性的关系
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| 各位看官，我在实验室时候在不同的衬底上做了一层聚合物掩膜，然后通过反应离子刻蚀和掩膜去除，在衬底上留下了一些无法去除的残渣。通过SEM和AFM的观察，发现衬底不同，留下的残渣不一样。个人推测是衬底磁性对这种残渣粒子的运动产生了影响。想求问各位大神这个猜想是否合理，是不是有理论依据，想求一下文献或者书籍的支持。感激不尽~~~急~~~ |
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