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有虫友知道哪些厂家可以在Si基片上做AlN压电薄膜的吗?
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| 因为实验室做的AlN压电薄膜效果不好,就想直接买现成的Si/AlN衬底,或Si/SiO2/AlN衬底,就是不知道有哪些公司做,着急啊!虫友们给介绍介绍啊! |
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薄膜制备与特性 |
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